La síntesis de nitruro de silicio fue reportada por primera vez en 1857 por Henri Edouard Saint-Clair Deville y Friedrich Wöhler. En su síntesis, se colocó un crisol con silicio en un crisol lleno de carbono y se calentó para reducir la penetración de oxígeno. Informaron un producto que llamaron nitruro de silicio, pero no pudieron determinar su composición química.
En 1879, Paul Schützenberger obtuvo el producto calentando el silicio mezclado con un material de revestimiento (una pasta que puede usarse como un revestimiento de crisol obtenido al mezclar carbón, briquetas de carbón o coque con arcilla) en un alto horno y informarlo como un compuesto con SI3N4. En 1910, Ludwig Weiss y Theodor Engelhardt produjeron Si3N4 calentando silicio elemental en nitrógeno puro. En 1925, Friedrich y Sittig sintetizaron nitruro de silicio calentando dióxido de silicio y carbono en una atmósfera de nitrógeno a 1250-1300 grado usando la reducción térmica de carbono.