La síntesis de nitruro de silicio fue descrita por primera vez en 1857 por Henri Edouard Saint-Claire Deville y Friedrich Wöhler. En su síntesis, se colocó un crisol que contenía silicio en un crisol lleno de carbón y se calentó para reducir la penetración de oxígeno. Informaron de un producto al que llamaron nitruro de silicio, pero no pudieron determinar su composición química.
En 1879, Paul Schutzenberger preparó el producto calentando silicio mezclado con material de revestimiento (una pasta que puede usarse como revestimiento de crisol, hecha mezclando carbón vegetal, briquetas de carbón o coque con arcilla) en un alto horno y lo describió como un compuesto con la composición Si3N4. En 1910, Ludwig Weiss y Theodor Engelhardt prepararon Si3N4 calentando silicio elemental en nitrógeno puro. En 1925, Friederich y Sittig sintetizaron nitruro de silicio calentando dióxido de silicio y carbono en una atmósfera de nitrógeno a 1250-1300 grados mediante reducción térmica de carbono.